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Anwendungszentrum Mikrosystemtechnik Erfurt Körperschaft Erfurt
Thüringen
 7569027-5
Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung Körperschaft Villingen-Schwenningen, Stuttgart
Baden-Württemberg
 5131027-2
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH Körperschaft Erfurt
Thüringen
 7650039-1
Jenoptik Mikrotechnik GmbH (Jena) Körperschaft Jena
Thüringen
 5348385-6
Compagnie des Machines Bull Körperschaft Louveciennes, Paris
Frankreich
 5181352-X